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華騰檢測：“中國芯”材料質量的守護者

發(fā)布時間：2026-02-02 瀏覽次數：次

芯片制造的“血液”為何容不下最微小的金屬雜質？

當您走進制造芯片的晶圓廠，你能看到光刻機閃著藍光，非常有科技感。

但決定芯片能否做成的重要一環(huán)，其實是芯片制造的“血液”——電子化學品。在這關乎萬億分之一精度的“血液”里，一粒最微小的金屬雜質，都足以引發(fā)一場災難。

什么是電子化學品？

電子化學品，泛指集成電路、平板顯示、光伏電池等電子信息產業(yè)在加工制造過程中，所需的各類專用且高純的化學試劑和配方化學品。它們不是最終產品，卻是制造過程不可或缺的基礎材料、工藝介質和清洗劑等。

主要類別包括但不限于：

1.濕電子化學品：超高純度的酸（如：氫氟酸、硫酸等）、堿（如：氨水、TMAH）、溶劑（異丙醇）、過氧化氫及配方液（SC1,SC2,SPM等）。以上化學品主要用于晶圓的清洗、蝕刻、去膠。

2.光刻膠及配套試劑：光刻膠的溶劑（如：PGMEA、PGME、二甲苯等）、樹脂（如：酚醛樹脂等）、光酸（如：三苯基锍鎓鹽、氟烷基磺酸鹽、重氮醌等）、各類添加劑及成品光刻膠。以上材料主要用于光罩上圖形轉移的“感光薄膜”。

3.CMP拋光材料：Slurry研磨液。通過化學機械拋光，讓晶圓表面如鏡面般光滑。

4.電子級水：“芯片是洗出來的”，超高純度的水，是一切清洗的前提。

這些電子化學品的共同特點是：

純度要求極高，功能性極強。它們的質量，直接定義了芯片性能的上限和良率的下限。因此，對需要的分析環(huán)境、設備、方法、物料和人員也要求極高。

看不見的“戰(zhàn)場”：金屬雜質的“致命”影響

在納米尺度的芯片世界里，金屬雜質是最危險的“隱形殺手”。

缺陷與污染源：金屬顆粒會隨著電子化學品引入，在晶圓表面形成致命缺陷，導致光刻圖形錯誤、薄膜不平整、接觸不良。一個微米級的顆粒就可能毀掉整顆先進芯片。

催化不必要反應：某些金屬離子會催化化學試劑自身分解或發(fā)生副反應，改變蝕刻速率、拋光選擇比，導致工藝失控，批次一致性蕩然無存。

隨著制程節(jié)點從28nm、14nm、7nm一路向3nm、2nm邁進，芯片內部的導線間距已小至幾十納米，對雜質的容忍度呈指數級下降。

在微米時代，雜質濃度要求可能在ppb（十億分之一）級別。

進入納米時代，要求已躍升至ppt（萬億分之一）級。這相當于在一個標準奧林匹克游泳池（2500立方米）的水中，僅允許溶解幾毫克的雜質。

這場“純度競賽”沒有終點。檢測能力的邊界，就是材料純度的邊界。無法準確測量，就無從保證質量。

為何檢測如此困難又如此關鍵？

檢測電子化學品中的ppt級金屬雜質，其挑戰(zhàn)在于：

1.環(huán)境背景污染：空氣、容器、人員都可能引入遠高于樣品本身的污染。

2.復雜基質干擾：強酸、有機溶劑等基質本身會產生大量的基體效應和質譜干擾，掩蓋目標雜質信號，造成檢測結果的偏差。

3.檢測極限的挑戰(zhàn)：需要世界上最精密的儀器和與芯片生產相同的超凈實驗環(huán)境。

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